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AG Scheer
Mesoscopic Systems

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Summer Term 2011:

Nanomechanik, Freitags, 11:15-13:15, P 602

E.Scheer / J.Boneberg / Th.Dekorsy

Viele elektronische Alltagsgeräte wie Mobiltelefone, tragbare CD-Player etc. enthalten
mikromechanische Bauelemente wie z.B. Beschleunigungssensoren, die zumeist
auf einer elektrischen Messung der Resonanzeigenschaften von mechanisch
schwingenden Systemen beruhen. Solche Schaltungen werden deshalb als MEMS
(Mikroelektromechanische Systeme) bezeichnet. Mit der beständig zunehmenden
Leistungsfähigkeit geht eine stetige Verkleinerung der aktiven Bauelemente einher,
hin zu NEMS: Nanoelektromechanischen Systemen. Während die Funktionsweise
von MEMS mit Kenntnissen der Physik makroskopischer Festkörper beschrieben
werden kann, ist zu erwarten, dass in den nächsten Miniaturisierungsstufen möglicherweise
Größenordnungen erreicht werden, in denen auch die mechanischen Bewegungen
bereits quantenmechanisch behandelt werden müssen. Ziel dieses Seminars
ist es, in die physikalischen Grundlagen mikroelektromechanischer, nanomechanischer
und nanoelektromechanischer Elemente und Systeme einzuführen.
Zunächst werden die Grundlagen zur Herstellung und Charakterisierung mikro- und
nanomechanischer Strukturen besprochen und in die Konzepte der Mechanik von
Quantenobjekten und in die wesentlichen Messmethoden zur Charakterisierung von
NEMS vorgestellt. Danach werden einige Beispiele von projektierten nanoelektromechanischen
Funktionselementen vorgestellt.

15.4. / 12:00-13:00 "Einführung in das Seminar und über Vortragstechniken", J. Boneberg

13.5. / 11:15-13:15 "Herstellung konventioneller Halbleiterstrukturen: Optische Lithographie", C. Lutz
13.5. / 11:15-13:15 "Nanomechanik anhand von Siliziummembranen", E. Zimmermann

20.5. / 11:15-13:15 "Funktionsweise und Anwendungen von MEMS (z.B. Einsatz von MEMS in Autos)",  D. Weber
20.5. / 11:15-13:15 "Funktionsweise und Anwendungen von Surface-Acoustic-Wave (SAW) Bauelementen", M. Roth

27.5. / 11:15-13:15 "„Quanten“-Mechanik", J. Bülte
27.5. / 11:15-13:15 "Herstellung nanomechanischer Resonatoren", T. Krüger

10.6. / 11:15-13:15 "Nanomechanische Sensorik: Sensor Arrays (Millipede, „Nanonase“)", J. Berres
10.6. / 11:15-13:15 "Zeptogram mass sensing", P. Nürnberger

17.6. / 11:15-13:15 "Resonanzmessungen nanomechanischer Systeme", A. Kerscher
17.6. / 11:15-13:15 "Optische Charakterisierung nanomechanischer Systeme",  C. Hinz

1.7. / 11:15-13:15 "Kasimirkräfte", M. Klingele
1.7. / 11:15-13:15 "Führung Nanolabor"